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Eine Mehrfachspiegelanordnung hat eine Trägerstruktur (120), die eine Vielzahl von individuellen Spiegelelementen (110) trägt. Ein Spiegelelement hat ein Spiegelsubstrat (112), welches eine mit einer Reflexionsbeschichtung (118) beschichtete Vorderfläche (114) und eine der Vorderfläche in einem Abstand gegenüberliegende Rückfläche (116) aufweist, die der Trägerstruktur zugewandt ist. Es ist eine Temperiereinrichtung zur Erzeugung eines lateralen stationären Temperaturgradienten in einer zwischen der Vorderfläche und der Rückfläche liegenden temperierbaren Zone (150) des Substrats als Antwort auf Signale einer Steuereinrichtung vorgesehen.
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