Vorrichtung und Verfahren zur Aufweitung eines Laserstrahls

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (11) zur Aufweitung eines Laserstrahls, insbesondere eines UV-Laserstrahls (4), umfassend: eine Teleskopanordnung (6) mit zwei sphärischen Faltungsspiegeln (7, 8) zur Aufweitung des einfallenden kollimierten Laserstrahls (4), sowie eine im divergenten Strahlengang nach der Teleskopanordnung (7, 8) angeordnete Linse (3) mit einer sphärischen Linsenfläche (3a) zur Kollimation des aufgeweiteten Laserstrahls (5). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren.