发明名称 Anordnung zur Vibrationsisolation einer Nutzlast
摘要 Die Erfindung betrifft eine Anordnung sowie ein Verfahren zur Vibrationsisolation einer Nutzlast von einem Vibrationen aufweisenden Körper, mit einem Sensor (140, 240, 340, 440) zur Messung von Vibrationen und einem Aktuator (160, 260, 360, 460) zur Erzeugung einer Kompensationskraft auf die Nutzlast (110, 210, 310, 410) zumindest auf Basis der Messung des Sensors (140, 240, 340, 440), wobei wenigstens eine Ausgleichsmasse (150, 250, 350, 450) im Reaktionspfad einer mit dieser Kompensationskraft einhergehenden Reaktionskraft angeordnet ist.
申请公布号 DE102011006024(A1) 申请公布日期 2012.09.27
申请号 DE20111006024 申请日期 2011.03.24
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 LARO, DICK ANTONIUS HENDRIKUS;VAN EIJK, JAN;KWAN, YIM-BUN-PATRICK
分类号 F16F15/03;G02B7/185;G03F7/20 主分类号 F16F15/03
代理机构 代理人
主权项
地址