| 发明名称 |
Design-Based Inspection Using Repeating Structures |
| 摘要 |
Systems and methods for design-based inspection using repeating structures are provided.
|
| 申请公布号 |
US2012243773(A1) |
申请公布日期 |
2012.09.27 |
| 申请号 |
US201213420224 |
申请日期 |
2012.03.14 |
| 申请人 |
KULKARNI ASHOK V.;CHEN CHIEN-HUEI (ADAM);KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
KULKARNI ASHOK V.;CHEN CHIEN-HUEI (ADAM) |
| 分类号 |
G06K9/00 |
主分类号 |
G06K9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
