基板搬送装置、基板搬送方法、基板支承构件、基板保持装置、曝光装置、曝光方法及元件制造方法

摘要

本发明基板搬出装置(70)藉由使基板载台(20)上装载的已完成曝光的基板(P)在装载于被收容在基板保持具(50)内的基板托盘(90)上的状态下，移动于与水平面平行的单轴方向(X轴方向)据以从基板保持具(50)搬出。相对于此，基板搬入装置(80)则系在将待搬入基板载台(20)的未曝光基板(P)装载于另一基板托盘(90)上的状态下使其在基板更换位置待机，待完成曝光的基板(P)从基板载台(20)搬出后，使该另一基板托盘(90)降下据以将未曝光的基板(P)装载于基板保持具(50)上。

主权项

一种基板搬送装置，具备：搬入装置，藉由在第1路径上搬送基板据以搬入既定基板保持装置；以及搬出装置，藉由在与该第1路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出。