| 发明名称 | 蚀刻液 | ||
| 摘要 | 本发明涉及蚀刻液，提供能够抑制对镍以外的金属、尤其是铜的侵蚀的镍的蚀刻液。该蚀刻液是含有硝酸或硫酸、过氧化氢以及水的镍的蚀刻液，其特征在于，含有聚合物，该聚合物具有选自下述式(I)、下述式(II)及下述式(III)中的至少一个重复单元，其中，R1～R5相同或者不同，是氢、氨基、亚氨基、氰基、偶氮基、巯基、磺基、羟基、羰基、羧基、硝基、烷基、环烷基、芳基或苄基，而且所述重复单元内所含的胺是季铵盐形式或者不是季铵盐形式。 | ||
| 申请公布号 | CN101481801B | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN200810185797.1 | 申请日期 | 2008.12.10 |
| 申请人 | MEC股份有限公司 | 发明人 | 片山大辅;栗井雅代 |
| 分类号 | C23F1/18(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 蒋亭;苗堃 |
| 主权项 | 1.一种蚀刻液，是含有硝酸或硫酸、过氧化氢以及水的镍的蚀刻液，其特征在于，含有聚合物，该聚合物具有下述式(III)的重复单元，<img file="FSB00000721782500011.GIF" wi="1219" he="388" />其中，R<sub>2</sub>～R<sub>5</sub>相同或者不同，是氢、氨基、亚氨基、氰基、偶氮基、巯基、磺基、羟基、羰基、羧基、硝基、烷基、环烷基、芳基或苄基，而且所述重复单元内所含的胺是季铵盐形式或者不是季铵盐形式。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||