一种石墨复合多级降压收集极及制造方法

摘要

本发明公开了一种石墨复合多级降压收集极及制造方法，涉及真空电子技术，是新型的可用于卫星行波管的多级降压收集极及其制造工艺。本发明的多级降压收集极电极由普通压制石墨基底和热解石墨涂层构成，经金属化、钎焊，装配成多级降压收集极组件。本发明充分利用了普通压制石墨和热解石墨的优点，通过采用低二次电子发射系数的石墨电极材料提高多级降压收集极的回收效率，进而提高行波管的总效率。本发明采用的工艺方法避免了因普通石墨强度低、颗粒结合力小而容易产生粉尘的缺点。

主权项

一种石墨复合多级降压收集极，其特征在于，在电极的普通压制石墨基底上，位于电极的非焊接区域，覆有一层热解石墨涂层；金属化的石墨基底焊接区域与金属化的绝缘瓷件钎焊焊接；依据需要，将多个石墨复合电极组装成多级降压收集极组件；所述热解石墨涂层，厚度为10‑50μm，采用化学气相沉积工艺沉积在石墨基底的非焊接区域表面上；所述石墨基底的焊接区域金属化，为真空离子镀工艺，金属化层为金属钛，厚度5‑15μm。