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发明名称 METHOD FOR CLEANING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ACIDIC SOLUTION
摘要
申请公布号 EP2426705(A4) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 EP20100769527 申请日期 2010.04.30
申请人 LION CORPORATION 发明人 HIDAKA, MAKOTO;OGURA, TAKU;KIKUCHI, MAIKO;KAGEYAMA, MOTOHIRO;TAKASHIMA, MASAYUKI
分类号 H01L21/304;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/39;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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