传动机构及应用该传动机构的镀膜装置

摘要

本发明公开一种传动机构及应用其的镀膜装置，镀膜装置包含腔室提供活性物种，在腔室内对称设有多个传动机构，传动机构包括转轴、传动轮、多个滑件、第一弹性件、第二弹性件及封套元件，转轴具有锥形轴向端部，传动轮具有轴孔，转轴的锥形轴向端部同轴穿设于轴孔，多个滑件以传动轮轴心为中心沿传动轮径向放射状设置于传动轮，第一弹性件套设于多个滑件外，第二弹性件相对于该第一弹性件往该第一轴向端部的方向而套设于传动轮外，封套元件具有开口；传动轮往复移动时，可驱动滑件沿传动轮径向滑移，进而改变第一弹性件外径尺寸，使封套元件开口形成开放或封闭状态。

主权项

一种传动机构，包含：转轴，该转轴沿其轴心具有一呈锥形的轴向端部，该锥形轴向端部具有至少一锥面；传动轮，该传动轮沿其轴心具有相对的一第一轴向端部以及一第二轴向端部，该传动轮的第一轴向端部设有一轴孔，该转轴的锥形轴向端部同轴穿设于该轴孔内，该转轴与该传动轮之间设有至少一连接结构，使该传动轮可与该转轴同步转动，且该传动轮可与该转轴作平行于该传动轮的轴心方向的相对运动；多个滑件，每一该滑件具有相对的一第一端部以及一第二端部，该滑件的该第一端部及该第二端部之间延伸形成一轴心线，该多个滑件的轴心线以该传动轮的轴心为中心且沿着该传动轮的径向呈放射状设置于该传动轮，该滑件的第一端部朝向该传动轮的轴心且外露于该传动轮的轴孔内，该滑件的第二端部外露于该传动轮的外周缘；第一弹性件，设置于该传动轮内且围绕套设于该多个滑件的该第二端部的外围；第二弹性件，相对于该第一弹性件往该第一轴向端部的方向而套设于该传动轮的外周缘；以及封套元件，用以容置上述该转轴、该传动轮、该多个滑件、该第一弹性件以及该第二弹性件，该封套元件具有一开口，该传动轮的第二轴向端部外露于该开口，该传动轮与该转轴相对运动时，该多个滑件的第一端部可与该转轴的锥形轴向端部相对运动，并驱动该多个滑件沿着该传动轮的径向滑移，进而改变该第一弹性件的外径尺寸，通过该第一弹性件使该封套元件的开口形成开放或封闭状态。