发明名称 压焊球直径检测装置及方法
摘要 从焊接部短边的轮廓(136)和压焊球(150)的焊接控制中心(163)位置的距离(Lx1),减去表示焊接部短边的轮廓的线段(136)和表示压焊球的轮廓的曲线(157)的距离(Gx1),计算第一假设半径(ra1),从表示对向焊接部的焊接部短边的轮廓的线段和压焊球的焊接控制中心位置的距离(Lx2),减去表示焊接部短边的轮廓的线段和压焊球的轮廓的距离(Gx2),计算第二假设半径(ra2),平均相同数量的第一假设半径(ra1)和第二假设半径(ra2),计算压焊球直径。由此,提高由焊接装置焊接的压焊球直径的检测性。
申请公布号 CN102057474B 申请公布日期 2012.09.26
申请号 CN200880129833.0 申请日期 2008.12.16
申请人 株式会社新川 发明人 菅原健二;陈勇
分类号 H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 上海三和万国知识产权代理事务所 31230 代理人 王礼华
主权项 一种压焊球直径检测装置,其特征在于:该压焊球直径检测装置包括:照相机,取得表面设有第一焊接部组及第二焊接部组的半导体芯片的各焊接部组的各长方形焊接部的各图像,以及通过焊接装置焊接在半导体芯片的各长方形焊接部的各压焊球的各图像,所述第一焊接部组的长方形焊接部沿着其短边方向排列配置,各引线从焊接在各长方形焊接部的各压焊球跨越各长方形焊接部的各短边延伸,所述第二焊接部组与第一焊接部组沿着长方形焊接部的长边方向对向,长方形焊接部沿着其短边方向排列配置,各引线从焊接在各长方形焊接部的各压焊球朝着与第一焊接部组的各引线相反侧延伸;以及图像处理部,与焊接装置连接,处理由照相机取得的各图像;图像处理部包括:轮廓取得手段,从由照相机所取得的各图像取得各压焊球的轮廓,以及从各压焊球的各引线没有延伸侧的各焊接部短边的轮廓;焊接控制中心位置取得手段,从焊接装置取得各压焊球的焊接控制中心位置;以及压焊球直径计算手段,从包含在第一焊接部组的各焊接部短边的轮廓和压焊球的焊接控制中心位置的沿焊接部长度方向的距离,减去包含在第一焊接部组的各焊接部短边的轮廓和各压焊球的轮廓的切线的沿焊接部长度方向的距离,计算各第一假设半径,从包含在第二焊接部组的各焊接部短边的轮廓和压焊球的焊接控制中心位置的沿焊接部长度方向的距离,减去包含在第二焊接部组的各焊接部短边的轮廓和各压焊球的轮廓的切线的沿焊接部长度方向的距离,计算各第二假设半径,平均相同数量的第一假设半径和第二假设半径,计算压焊球直径。
地址 日本国东京都