一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法及装置

摘要

本发明公开了一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法及装置，首先用低于太阳能晶圆材料加工阈值的照射激光束照射太阳能晶圆上的待加工区域，该区域吸收了光子能量，材料温度显著提高，同时产生大量载流子，然后用加工激光束照射太阳能晶圆上的相同区域，加工激光束的能量高于太阳能晶圆材料加工阈值，用于进行对晶圆材料的加工。本发明两束激光来自于同一激光器或两台激光器，由于两束激光叠加的非线性效应，它们的总能量低于达到同等效果的单束激光的能量，提高了激光能量的使用效率，且采用相对较低功率激光器来获得同样加工速度，或者使用同样激光器而较大幅度提高有关加工速度，从而大大降低有关加工成本。

主权项

一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法，其特征在于：首先用低于太阳能晶圆材料加工阈值的照射激光束照射太阳能晶圆上的待加工区域，该区域吸收了光子能量，材料温度显著提高，同时产生大量载流子，然后用加工激光束照射太阳能晶圆上的相同区域，加工激光束的能量高于太阳能晶圆材料加工阈值，用于进行对晶圆材料的加工。