发明名称 |
功率用半导体装置 |
摘要 |
本发明提供一种功率用半导体装置,具备:第1导电类型的第1半导体层(1)、第1导电类型的第2半导体层(2)、第2导电类型的第3半导体层(3)、第2导电类型的第4半导体层(4)、第1主电极(5)及第2主电极(6)。第2半导体层(2)设置在第1半导体层(1)上,第3半导体层(3)选择性地设置于第2半导体层(2)的表面。第4半导体层(4)选择性地设置于第3半导体层(3)的表面,具有比第3半导体层(3)的第2导电类型杂质的浓度高的第2导电类型杂质的浓度。第3半导体层(3)具有载流子寿命降低区域,该载流子寿命降低区域与第4半导体层(4)的底面邻接并与第2半导体层(2)有间隔,被处理为使载流子寿命变短。 |
申请公布号 |
CN102694032A |
申请公布日期 |
2012.09.26 |
申请号 |
CN201210060051.4 |
申请日期 |
2012.03.09 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
小林政和 |
分类号 |
H01L29/861(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/861(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
许海兰 |
主权项 |
一种功率用半导体装置,其特征在于,具备:第1导电类型的第1半导体层;第1导电类型的第2半导体层,设置在所述第1半导体层上,并具有比所述第1半导体层的第1导电类型杂质的浓度低的第1导电类型杂质的浓度;第2导电类型的第3半导体层,设置于所述第2半导体层的与所述第1半导体层相反侧的表面;第2导电类型的第4半导体层,选择性地设置于所述第3半导体层的与所述第1半导体层相反侧的表面,并具有比所述第3半导体层的第2导电类型杂质的浓度高的第2导电类型杂质的浓度;第1主电极,电连接到所述第1半导体层;以及第2主电极,电连接到所述第4半导体层,其中,所述第3半导体层具有载流子寿命降低区域,该载流子寿命降低区域与所述第4半导体层的所述第1半导体层侧的底面邻接,并与所述第2半导体层有间隔,被处理为使载流子寿命变短。 |
地址 |
日本东京都 |