一种光谱微测辐射热计

摘要

本实用新型公开一种光谱微测辐射热计。它包括硅衬底、支撑膜、第一金属电接触盘和第金属二电接触盘，硅衬底与支撑膜间的四周相连且二者间有热隔离空腔，与热隔离空腔相应的支撑膜外表面上有红外吸收层，红外吸收层两边分别有第一薄膜电极和第二薄膜电极，该第一薄膜电极和第二薄膜电极分别与第一金属电接触盘和第二金属电接触盘相连。其特点是所述红外吸收层由底层导电层、中间热敏层和顶层导电层组成，所述底层导电层和顶层导电层分别与第二薄膜电极和第一薄膜电极相连。该光谱微测辐射热计，结构简单、易于制作，在特定波段具有高吸收，对探测角度选择性不高且可调吸收谱段。适用于进行光谱辐射探测。

主权项

一种光谱微测辐射热计，包括硅衬底（11）、支撑膜（12）、第一金属电接触盘（14）和第金属二电接触盘（141），硅衬底（11）与支撑膜（12）间的四周相连且二者间有热隔离空腔（10），与热隔离空腔（10）相应的支撑膜（12）外表面上有红外吸收层（20），红外吸收层（20）两边分别有第一薄膜电极（13）和第二薄膜电极（131），该第一薄膜电极（13）和第二薄膜电极（131）分别与第一金属电接触盘（14）和第二金属电接触盘（141）相连；其特征在于所述红外吸收层（20）由底层导电层（21）、中间热敏层（22）和顶层导电层（23）组成，所述底层导电层（21）和顶层导电层（23）分别与第二薄膜电极（131）和第一薄膜电极（13）相连。