振动元件及其频率稳定方法、振子及其制造方法和振荡器

摘要

本发明提供振动元件及其频率稳定方法、振子及其制造方法和振荡器，在构成为利用硅粘接剂将压电振动元件保持在绝缘容器内的状态下进行气密性密封的压电器件中，可以解决从硅粘接剂释放的硅蒸气成分附着堆积在压电振动元件的金属膜上，使得谐振频率随着时间推移而最终变得低于目标频率的缺陷。一种压电振子，利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内，该压电振动元件具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板(20)、和形成于该压电基板面上的金属膜(21)，其中，露出于气氛气体中的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜(30)覆盖。

主权项

一种振动元件，其特征在于，该振动元件包括：振动部；以及激励电极，其设置在所述振动部正反的主要表面上，所述激励电极的表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的单分子膜覆盖。