一种基于平面光波导的光传感系统

摘要

本发明提供了一种基于平面光波导的光传感系统，包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路，所述光传感器由传感单元阵列而成，所述传感单元包括平面光波导、耦合光栅和PN结，所述耦合光栅将所述平面光波导输出的光信号耦合至所述PN结，所述PN结与所述运算电路连接。其有益效果是：通过COMS工艺将平面光波导与光传感器集成在同一芯片上，具有结构简单，易于加工和大规模生产的优点。

主权项

一种基于平面光波导的光传感系统，包括集成设置在CMOS芯片上的光传感器和与所述光传感器连接的运算电路，其特征在于：所述光传感器由传感单元阵列而成，所述传感单元包括平面光波导、耦合光栅和PN结，所述耦合光栅将所述平面光波导输出的光信号耦合至所述PN结，所述PN结与所述运算电路连接。