微机电传感器与制作方法

摘要

本发明涉及一种微机电传感器与制作方法。本发明的微机电传感器包含：部分挖空的基板；位于基板挖空部分上方的悬浮结构；以及与悬浮结构至少部分区隔开的上方结构，其中该悬浮结构与上方结构通过包含金属蚀刻的步骤而区隔开，且该悬浮结构包含金属层和包覆金属层的介电材料，该上方结构包含金属层和位于金属层下方的介电材料。

主权项

一种微机电传感器制作方法，其特征在于，包含：提供一个基板；在该基板上形成内连线并以介电层包覆该内连线，该内连线包含一金属结构、一悬浮结构、及一待蚀刻结构体，该待蚀刻结构体用以将该金属结构与该悬浮结构至少部分区隔开；蚀刻该基板的背部，露出该待蚀刻结构体；以及蚀刻去除该待蚀刻结构体。