| 发明名称 | 实现至少部分松弛的应变材料的岛状物的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及实现至少部分松弛的应变材料的岛状物的方法。具体而言，本发明涉及半导体制造领域。更具体而言，本发明涉及一种在目标衬底上形成至少部分松弛的应变材料的岛状物的方法，所述方法包括以下步骤：a)在第一衬底(1110)的侧面上形成(S11)应变材料的岛状物(1231)；b)使所述第一衬底在包含所述应变材料的岛状物的侧面上与所述目标衬底(3170)粘合(S31)；和c)在粘合步骤后，使所述第一衬底与所述目标衬底分离，并且通过第一热处理使所述应变材料的岛状物至少部分松弛(S41)。 | ||
| 申请公布号 | CN102693902A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201210074073.6 | 申请日期 | 2012.03.20 |
| 申请人 | 索泰克公司 | 发明人 | R·博列特 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰;庞东成 |
| 主权项 | 一种在目标衬底上形成至少部分松弛的应变材料的岛状物的方法，所述方法包括以下步骤：a)在第一衬底(1110)的侧面上形成(S11)应变材料的岛状物(1231)；其特征在于b)使所述第一衬底在包含所述应变材料的岛状物的侧面上与所述目标衬底(3170)粘合(S31)；和c)在粘合步骤后，使所述第一衬底与所述目标衬底分离，并且通过第一热处理使所述应变材料的岛状物至少部分松弛(S41)。 | ||
| 地址 | 法国伯尔宁 | ||