一种太阳能电池的PN结制作方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池的PN结制作方法，在反应容器中对衬底依次执行步骤：在第一温度进行第一次通源；在第二温度进行第一次推结，所述第二温度高于所述第一温度；在所述第二温度进行第二次通源；在第三温度进行第二次推结，所述第三温度高于所述第二温度。采用本发明的太阳能电池的PN结制作方法，缩短了单次通源步骤的时间，在每次通源步骤后进行推结步骤，可以降低衬底表面掺杂区的掺杂浓度梯度，使PN结深比现有技术制作的结深浅，能够提高太阳能电池的电性能。

主权项

一种太阳能电池的PN结制作方法，其特征在于，在反应容器中对衬底依次执行下列步骤：在第一温度进行第一次通源；在第二温度进行第一次推结，所述第二温度高于所述第一温度；在所述第二温度进行第二次通源；在第三温度进行第二次推结，所述第三温度高于所述第二温度。