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发明名称 MOVABLE BODY DRIVE METHOD, MOVABLE BODY APPARATUS, EXPOSURE METHOD, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20120106877(A) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 KR20127019912 申请日期 2010.12.24
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 SHIBAZAKI YUICHI;OKUTOMI AKIRA;HIRANO KAZUHIRO
分类号 H01L21/027;G03F7/20;G05B19/19 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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