一种利用调频的方式改善高频放电等离子体均匀性的方法

摘要

一种利用调频的方式改善高频放电等离子体均匀性的方法，属于高频放电等离子体技术领域。在等离子体放电室中，一对平行电极，采用高频电源馈入到电极上，电磁场频率范围为13.56MHz～160MHz，充入放电气体，形成等离子体，馈入的高频电磁场的频率是经过自动调谐控制的，在等离子体放电过程中其频率始终持续不断地循环变化着，频率变化的范围是包含在13.56MHz～160MHz之内的一部分，或是13.56MHz～160MHz的整个范围，使等离子体放电空间中平行于电极的面上等离子体密度相对较高的位置发生循环变化。在一个以上的频率变化循环周期的时间段上，在平行电极间的平均等离子体密度是均匀的。

主权项

一种利用调频的方式改善高频放电等离子体均匀性的方法，在等离子体放电室中，一对平行电极，平行电极间的空间为等离子体放电空间，采用高频电源馈入到电极上，在平行电极之间产生高频电磁场，电磁场频率范围为13.56MHz～160MHz，当平行电极之间充入放电气体时，在高频电磁场作用下发生电离，形成等离子体，其特征在于，所馈入的高频电磁场的频率是经过自动调谐控制的，并且在等离子体放电过程中其频率始终持续不断地循环变化着，所述频率变化的范围是包含在13.56MHz～160MHz之内的一部分，或者是13.56MHz～160MHz的整个范围，使等离子体放电空间内等离子体密度相对较高的位置发生循环变化。