| 发明名称 | 未熔硅锭高度的测量系统 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种未熔硅锭高度的测量系统，其包括驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构。所述测定机构包括气缸、探测固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压力传感器以及可编程逻辑控制器，所述压力传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器；本测量系统的测量精度高且结构简单。 | ||
| 申请公布号 | CN102692199A | 申请公布日期 | 2012.09.26 |
| 申请号 | CN201210189606.5 | 申请日期 | 2012.06.11 |
| 申请人 | 苏州禹石自动化工程技术有限公司 | 发明人 | 周迅;朱成 |
| 分类号 | G01B21/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 | 代理人 | 丁秀华 |
| 主权项 | 一种未熔硅锭高度的测量系统，其特征在于包括：驱动机构以及通过所述驱动机构所驱动的测定机构，所述测定机构包括气缸、探测固态硅锭的探棒、连接在所述气缸与所述探棒之间的压力传感器以及可编程逻辑控制器，所述压力传感器电性连接至所述可编程逻辑控制器。 | ||
| 地址 | 215125 江苏省苏州市工业园区东富路38号 | ||