氢氧化四甲基铵的回收系统与方法

摘要

本发明关于一种氢氧化四甲基铵的回收系统与方法，本发明的设备系统以及该流程主要是提供一种较为简化的设置与流程，可以将氢氧化四甲基铵(TMAH)与该光阻剂分离，且以较为精简的设备成本与流程提升氢氧化四甲基铵的纯度，且进一步降低排放出去的废水对于环境的污染。

主权项

一种氢氧化四甲基铵回收系统，其特征在于包括：一个收集槽；一个过滤器，与该收集槽相连接；一个阳离子树脂塔，与该过滤器相连通；一个硫酸进料槽；一个第一再生液槽，与该阳离子树脂塔连通；一个第二再生液槽，与该阳离子树脂塔连通；且与该硫酸进料槽连通；一个废水槽，与该阳离子树脂塔连通；一个电透析槽，与该第一再生液槽连通。