锂电池电极片的毛边处理方法及装置

摘要

本发明公开了一种锂电池电极片的毛边处理方法及装置，该方法包括：S1、提供等离子体刻蚀装置；S2、将锂电池电极片竖直放置在所述等离子体刻蚀装置腔室内的第二电极上；S3、将所述腔室抽至本底真空，并向腔室内通入反应气体使腔室达到预定气压；S4、开启并调节所述第一射频源和第二射频源，所述腔室内反应气体被激发形成等离子体，所述等离子体对锂电池电极片的剖面进行轰击以进行刻蚀。本发明采用等离子体干法刻蚀的方法对锂电池电极片剖面进行刻蚀处理，处理过程中等离子体中的高能离子将轰击锂电池电极片的剖面并产生刻蚀效果，以除去电极片边缘的金属毛刺和金属粉尘，由此消除锂电池电极片边缘毛刺造成内部短路的隐患。

主权项

一种锂电池电极片的毛边处理方法，其特征在于，所述方法包括：S1、提供等离子体刻蚀装置，所述等离子体刻蚀装置包括上下对应设置的第一电极、第二电极以及第一电极和第二电极间的腔室，所述第一电极上连接有第一射频源，第二电极连上接有第二射频源；S2、将锂电池电极片竖直放置在所述等离子体刻蚀装置腔室内的第二电极上；S3、将所述腔室抽至本底真空，并向腔室内通入反应气体使腔室达到预定气压；S4、开启并调节所述第一射频源和第二射频源，所述腔室内反应气体被激发形成等离子体，所述等离子体对锂电池电极片的剖面进行轰击以进行刻蚀。