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发明名称 NOVEL FRONTSIDE CONTACT TO SUBSTRATE OF SOI DEVICE
摘要
申请公布号 EP1307914(B1) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 EP20010928995 申请日期 2001.05.01
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 LUKANC, TODD, P.;TAYLOR, KURT, O.
分类号 H01L21/74;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/3065;H01L21/3115;H01L21/326;H01L21/768;H01L27/12 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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