基板处理装置及基板载置方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及基板载置方法。在通过设置为能够从载物台进行升降动作的提升销进行向载物台上载置被处理基板的基板处理装置中，缩短生产节拍时间，提高生产效率。基板处理装置(1)，具有：载物台(3)，其载置基板(K)；提升销(41)，其设置为能够从形成于载物台的贯通孔(33)进行升降动作且能够用前端部支承基板；销驱动控制部(43、10)，其驱动控制提升销，将被供给到载物台的上方的搬入位置(P2)的基板载置在载物台上，其中，销驱动控制部如下进行驱动控制：通过使提升销上升而用提升销的前端部支承位于搬入位置的基板，在保持于比搬入位置高的位置后，通过使提升销下降，将基板载置在载物台上。

主权项

一种基板处理装置，具有：载物台(3)，其载置基板(K)；提升销(41)，其设置为能够从形成于载物台(3)的贯通孔(33)进行升降动作且能够用前端部支承基板(K)；销驱动控制部(43、10)，其驱动控制提升销(41)，以将利用基板输送机器人供给到载物台(3)的上方的搬入位置(P2)的基板(K)载置在载物台(3)上，所述基板处理装置(1)的特征在于，销驱动控制部(43、10)如下进行驱动控制：通过使提升销(41)上升而用提升销(41)的前端部支承位于搬入位置(P2)的基板(K)，在保持于比搬入位置(P2)高的位置(P3)后，基板输送机器人沿水平方向驱动脱离基板(K)的机器手，并使其移动到退让位置(P1)，之后通过使提升销(41)下降，将基板(K)载置在载物台(3)上。