曝光机

摘要

本实用新型公开了一种曝光机，涉及曝光技术领域，能够提高曝光机的精确对位，包括机台和激光测长装置，激光测长装置包括激光器、反光装置、第一、第二方向测长部；所述反光装置设置在所述机台上，并包括第一、第二方向反光部；所述第一、第二方向测长部均包括至少两个激光发射接收装置；所述第一方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第一方向反光部，并接收经所述第一方向反光部反射后返回的激光；所述第二方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第二方向反光部，并接收所述第二方向反光部反射回的激光。本实用新型可用于曝光领域。

主权项

一种曝光机，包括机台和激光测长装置，其特征在于，所述激光测长装置包括激光器、反光装置、第一方向测长部与第二方向测长部；所述反光装置设置在所述机台上，所述反光装置包括第一方向反光部和第二方向反光部；所述第一方向测长部与第二方向测长部均包括至少两个激光发射接收装置；所述第一方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第一方向反光部，并接收经所述第一方向反光部反射后返回的激光；所述第二方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第二方向反光部，并接收所述第二方向反光部反射回的激光。