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发明名称 Substrate transport device
摘要
申请公布号 KR101186348(B1) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 KR20107010965 申请日期 2008.01.17
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G47/54;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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