发明名称
摘要
申请公布号 JP5036399(B2) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 JP20070135311 申请日期 2007.05.22
申请人 发明人
分类号 H01L29/12;H01L21/28;H01L29/78 主分类号 H01L29/12
代理机构 代理人
主权项
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