发明名称 通过气相沉积的多层生长
摘要 一种多层系统,其中中间充分键合并交联的层为具有期望的反应部位的终饰层提供附连。
申请公布号 CN102695817A 申请公布日期 2012.09.26
申请号 CN201080060978.7 申请日期 2010.11.10
申请人 布莱阿姆青年大学 发明人 M·R·林福德;D·S·詹森;F·张
分类号 C23C16/44(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I 主分类号 C23C16/44(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民;张全信
主权项 将涂层施加到基底的方法,所述方法包括:(a)通过所述基底上的活性部位与来自气相的化学品A反应,涂布所述基底;(b)通过与来自气相的化学品B反应涂布与化学品A反应的所述基底;化学品A具有官能团,其用于与所述基底上的所述活性部位反应,并且用于交联反应和用于与化学品B反应,以形成附连到所述基底的交联层,至少一部分的化学品A和化学品B的任一个或两者包括具有至少三个官能团的化合物,所述官能团参与交联以及化学品A与化学品B的反应;(c)通过所述交联层与来自气相的化学品C反应,用终饰层涂布所述基底;其中化学品C是与所述交联层中的官能团反应的。
地址 美国犹他州