主权项 |
1.基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅,它由电磁驱动单元、压阻角度传感器单元、光栅衍射面单元和支撑扭转梁单元构成;其特征在于,所述电磁驱动单元由MOEMS工艺加工的电磁驱动线圈(19)与永久磁铁元件组成,为了使扫描微光栅做绕支撑扭转梁(1)扭转,加载于电磁驱动线圈(19)的交流电压U<sub>i</sub>表示如下:U<sub>i</sub>=U<sub>m</sub>sin(ωt)其中Um为交流电压幅值,ω为扫描微光栅的谐振频率;所述电磁驱动线圈应用溅射和电镀工艺制作,埋层引线使用离子注入的方法制作;所述压阻角度传感器单元由压阻角度传感器(4、5)和焊盘(6)组成,该压阻角度传感器集成于扫描光栅的支撑扭转梁(1)上,压阻角度传感器为(100)硅的P型硅压阻,该压阻角度传感器的方向与支撑扭转梁成45°,布置于[110]晶向,对光栅工作面的偏转角度起到监测作用,压阻条采用惠斯通电桥电路结构的排布方式,所述光栅衍射面单元的光栅工作面(2)槽型为矩形,光栅为位相型光栅;所述支撑扭转梁(1)支撑扫描光栅工作面,可扭转;当入射波长为λ平行光,入射角度为i时,经过扫描光栅衍射后的出射光的衍射角度r为:<img file="FDA00001769122200011.GIF" wi="461" he="109" />式中:d为光栅常数;k为衍射光谱级次;θ<sub>T</sub>为扫描光栅扭转角度。 |