去胶方法

摘要

本发明公开了一种去胶方法，该方法包括：采用O2等离子体轰击去胶对象，并检测CO生成物，当检测到CO的下降量达到预设值时，停止O2等离子体轰击过程，开始采用CO2等离子体轰击去胶对象残留物。本发明既可以有效去除去胶对象，同时减少了对低k介质的损伤。

主权项

一种去胶方法，去胶对象位于低k值层间介质上方，该方法包括：采用氧气O2等离子体轰击去胶对象，并检测一氧化碳CO生成物，当检测到CO的下降量达到预设值时，停止O2等离子体轰击过程，开始采用二氧化碳CO2等离子体轰击去胶对象残留物，所述预设值为CO信号基准值与a的乘积，其中，a的范围为0.8～0.9，所述CO信号基准值为：采用光发射谱检测CO信号值，按照预设取样频率对CO信号进行取样，当发现在第一预设时长内，CO信号的变化范围在预设范围内时，计算该时长内CO信号的平均值，将该平均值作为CO信号基准值。