用于对硅进行选择性掺杂的方法以及使用该方法处理的硅衬底

摘要

一种用于对硅衬底(1)的硅进行选择性掺杂以在硅中产生pn结的方法，具有下列步骤：a)以基于磷的掺杂剂(2)涂覆硅衬底(1)的表面；b)然后加热硅衬底(1)以在硅的表面上产生磷硅酸盐玻璃(2)，其中磷同时扩散到硅中作为第一次掺杂(3)；c)将掩膜(4)施加到磷硅酸盐玻璃(2)上，使得掩膜(4)覆盖稍后高掺杂的区域(5)；d)移除未被遮掩区域中的磷硅酸盐玻璃(2)；e)从磷硅酸盐玻璃(2)移除掩膜(4)；f)重新加热以进一步将磷从磷硅酸盐玻璃(2)扩散到硅中作为第二次掺杂以产生高掺杂的区域(5)；g)从硅衬底(1)完全移除磷硅酸盐玻璃(2)以及氧化物。

主权项

一种用于对硅衬底(1)的硅进行选择性掺杂以在硅中产生pn结的方法，具有下列步骤：a)以基于磷的掺杂剂(2)涂覆硅衬底(1)的表面，b)然后加热硅衬底(1)以在硅的表面上产生磷硅酸盐玻璃(2)，其中磷同时扩散到硅中作为第一次掺杂(3)，c)将掩膜(4)施加到磷硅酸盐玻璃(2)上，使得掩膜(4)覆盖稍后高掺杂的区域(5)，d)移除未被遮掩区域中的磷硅酸盐玻璃(2)，e)从磷硅酸盐玻璃(2)移除掩膜(4)，f)重新加热以进一步将磷从磷硅酸盐玻璃(2)扩散到硅中作为第二次掺杂，以产生高掺杂的区域(5)，g)从硅衬底(1)完全移除磷硅酸盐玻璃(2)以及氧化物。