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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR USING A TWO-PHASES SUBSTRATE CLEANING COMPOUND
摘要
申请公布号 EP1965930(A4) 申请公布日期 2012.09.26
申请号 EP20060845929 申请日期 2006.12.19
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KOROLIK, MIKHAIL;FREER, ERIK M.;DE LARIOS, JOHN M.;MIKHAYLICHENKO, KATRINA;RAVKIN, MIKE;REDEKER, FRED
分类号 C11D11/00;B08B3/08;C09G1/02;C11D3/14;C11D17/00;G03F7/42;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/67;H05K3/26 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
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