一种静电电压测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种静电电压测量装置，包括：电极、振动器、电压源、电流取样装置和处理器；电压源输出交直流叠加的电压至被测静电体；处理器控制振动器振动以带动电极振动，电极靠近被测静电体，电极与被测静电体之间的耦合电容因电极的振动而交变；电流取样装置对被测静电体通过电极耦合的电流信号进行取样，并将取样的电流信号发送至处理器；处理器从取样的电流信号中提取电流分量并根据提取的电流分量获取被测静电体的静电电压参数。本发明提供的静电电压测量装置不需要校正电极面积、面积振幅及电极与被测静电体的距离和距离振幅，也不需要产生与被测静电电压同等幅度的比较电压，同时电极的形状、安装位置和角度对测量结果没有影响。

主权项

一种静电电压测量装置，其特征在于，包括：电极、振动器、电压源、电流取样装置和处理器；所述电压源输出交直流叠加的电压至被测静电体；所述处理器控制所述振动器振动以带动与所述振动器连接的所述电极振动，其中，所述电极靠近所述被测静电体设置，所述电极与所述被测静电体之间的耦合电容因所述电极的振动而交变；所述电压源、所述被测静电体、所述电极和所述电流取样装置形成串联回路，所述电流取样装置对被测静电体通过所述电极耦合的电流进行取样，得到取样电流，并将包含有所述取样电流的取样电流信号发送至所述处理器；所述处理器从所述取样电流信号中提取电流分量并根据提取的电流分量获取所述被测静电体的静电电压参数。