压电致动机构

摘要

本发明提供一种压电致动机构以通过向中心电极和侧壁电极选择性地施加电压来使腔室间的串扰减至最小。

主权项

一种压电致动机构(102)，包括：衬底(110)，其具有多个限定在其内的腔室，每个腔室具有第一侧壁和第二侧壁；柔性隔膜(114)，其布置在所述衬底的所述腔室之上并且安装到每个腔室的所述第一和第二侧壁；公共电极(116)，其布置在所述柔性隔膜之上，所述公共电极对所有腔室是共用的；压电陶瓷片(118)，其布置在所述公共电极之上；以及用于每个腔室的布置在所述腔室中心之上的分离中心电极，用于每个腔室的布置在所述腔室的所述第一侧壁之上的第一分离侧壁电极和布置在所述腔室(120)的所述第二侧壁之上的第二分离侧壁电极。