发明名称 Method of fabricating a landing plug contact in semiconductor memory device
摘要
申请公布号 KR101185988(B1) 申请公布日期 2012.09.25
申请号 KR20090134672 申请日期 2009.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/28;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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