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发明名称
Method of fabricating a landing plug contact in semiconductor memory device
摘要
申请公布号
KR101185988(B1)
申请公布日期
2012.09.25
申请号
KR20090134672
申请日期
2009.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;H01L21/28;H01L27/108
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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