SPUTTERING APPARATUS, DOUBLE ROTARY SHUTTER UNIT, AND SPUTTERING METHOD,申请号KR20100013355-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SPUTTERING APPARATUS, DOUBLE ROTARY SHUTTER UNIT, AND SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号	KR101185709(B1)	申请公布日期	2012.09.24
申请号	KR20100013355	申请日期	2010.02.12
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;C23C14/56	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址

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