蓝宝石基材及其制法

摘要

本发明揭示一种蓝宝石基材，其包括一具有选自由a平面取向、r平面取向、m平面取向及c平面取向组成之群的结晶取向且具有不大于约0.037μm/cm2之nTTV的大体上平坦表面，其中nTTV为针对大体上平坦表面之表面积标准化之总厚度变化，该基材具有不小于约9.0cm之直径。

主权项

一种蓝宝石基材，其包含：一具有一选自由a平面取向、r平面取向、m平面取向及c平面取向组成之群的结晶取向且具有不大于0.037 μm/cm2之nTTV的大体上平坦表面，其中nTTV为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之总厚度变化，该基材具有一不小于9.0 cm之直径，且其中该基材具有一不大于0.190 μm/cm2之n翘曲度(nWarp)，其中n翘曲度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该基材的翘曲度。如请求项1之蓝宝石基材，其中该nTTV不大于0.035 μm/cm2。如请求项1之蓝宝石基材，其中该大体上平坦表面具有一不大于10.0 之粗糙度Ra。如请求项1之蓝宝石基材，其中该基材具有一不大于0.100 μm/cm2之n平面度，其中n平面度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该大体上平坦表面的平面度。如请求项1之蓝宝石基材，其中该基材具有一不大于0.100 μm/cm2之n弯曲度(nBow)，其中n弯曲度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该基材的弯曲度。如请求项1之蓝宝石基材，其中该蓝宝石基材之大体上平坦表面具有一不大于1E8/cm2之位错密度。如请求项1之蓝宝石基材，其中该大体上平坦表面具有一不小于70 cm2之表面积。如请求项1之蓝宝石基材，其中该基材具有一不小于10.0 cm之直径。一种蓝宝石基材，其包含：一具有一选自由a平面取向、r平面取向、m平面取向及c平面取向组成之群的结晶取向且具有不大于3.00 μm之TTV的大体上平坦表面，其中TTV为该大体上平坦表面之总厚度变化，且其中该基材具有一不大于0.190 μm/cm2之n翘曲度(nWarp)，其中n翘曲度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该基材的翘曲度，且该基材具有一不小于9.5 cm之直径及一不大于525 μm之厚度。如请求项9之蓝宝石基材，其中该厚度系不大于500 μm。如请求项9之蓝宝石基材，其中该大体上平坦表面具有一不大于5.0 之粗糙度Ra。如请求项9之蓝宝石基材，其中该基材具有一不大于0.100 μm/cm2之n平面度，其中n平面度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该大体上平坦表面的平面度。如请求项12之蓝宝石基材，其中该表面积系不小于70 cm2。一种蓝宝石基材，其包含：一具有一选自由a平面、r平面、m平面及c平面组成之群的结晶取向且具有一不大于0.032 μm/cm2之nTTV的大体上平坦表面，其中nTTV为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之总厚度变化，其中该基材具有一不小于9.0 cm之直径，且其中该基材具有一不大于0.190 μm/cm2之n翘曲度(nWarp)，其中n翘曲度为针对该大体上平坦表面之表面积标准化之该基材的翘曲度。