自动化物料搬运系统及方法

摘要

一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统。利用一物料控制系统分别将第一与第二虚拟仓储代码赋予一自动化输送带搬运装置之第一与第二虚拟缓冲仓储。利用一传输系统控制器将一晶圆盒搬运至并载入该第一虚拟缓冲仓储。将该晶圆盒载入至该自动化输送带搬运装置之轨道上，并且将一虚拟搬运车代码赋予该晶圆盒。经由该自动化输送带搬运装置之轨道移动该晶圆盒，并且将该晶圆盒搬运至并载入该第二虚拟缓冲仓储。将该晶圆盒之该虚拟搬运车代码移除，并且利用该传输系统控制器自该第二虚拟缓冲仓储取走该晶圆盒。

主权项

一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，包括：一物料控制系统；一传输系统控制器；一晶圆盒；以及一自动化输送带搬运装置，其更包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠；其中，该物料控制系统及该自动化输送带搬运装置分别将一第一虚拟仓储代码与一第二虚拟仓储代码赋予该第一输出/入埠与该第二输/入埠，根据该第一虚拟仓储代码，该传输系统控制器将该晶圆盒搬运并载入至该第一输出/入埠，该自动化输送带搬运装置将该晶圆盒由该第一输出/入埠载入至该自动化输送带搬运装置之一轨道上，将一虚拟搬运车代码赋予该晶圆盒，根据该虚拟搬运车代码，经由该轨道移动该晶圆盒，并且将该晶圆盒自该轨道搬运至并载入该第二输出/入埠，同时将该晶圆盒之该虚拟搬运车代码移除，以及该物料控制系统根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶圆盒。如申请专利范围第1项所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，当该第一与第二输出/入埠分别取得该第一与第二虚拟缓冲仓储代码时，该第一与第二输出/入埠系分别做为一缓冲仓储来使用。如申请专利范围第1项所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，当该晶圆盒取得该虚拟搬运车代码时，该晶圆盒系做为一搬运车来使用。如申请专利范围第3所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，当将晶圆盒之该虚拟搬运车代码移除时，该晶圆盒不再做为该搬运车来使用。如申请专利范围第1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，该自动化输送带搬运装置上之一或复数个输出/入埠系定义为一输送带仓储装置。如申请专利范围第5所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，该传输系统控制器将该晶圆盒搬运并载入至该输出/入埠，接着直接自该输出/入埠取走该晶圆盒。如申请专利范围第1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，该第一与第二悬吊式搬运车可由该物料控制系统来控制，或分别由不同物料控制系统来控制。如申请专利范围第1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统之自动化物料搬运系统，其中，该自动化输送带搬运装置经由该轨道移动该晶圆盒，并且将该晶圆盒载入一实体缓冲仓储。一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：利用一物料控制系统分别将一第一虚拟仓储代码与一第二虚拟仓储代码赋予一自动化输送带搬运装置之一第一输送带仓储装置与一第二输送带仓储装置；根据该第一虚拟仓储代码，利用一传输系统控制器将一晶圆盒搬运至并载入该第一输送带仓储装置；将该晶圆盒自第一输送带仓储装置载入至该自动化输送带搬运装置之轨道上，并且利用该自动化输送带搬运装置将一虚拟搬运车代码赋予该晶圆盒；根据该虚拟搬运车代码，经由该自动化输送带搬运装置之轨道移动该晶圆盒，并且将该晶圆盒自该自动化输送带搬运装置之轨道搬运至并载入该第二输送带仓储装置；将该晶圆盒之该虚拟搬运车代码移除；以及根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶圆盒。如申请专利范围第9项所述的自动化物料搬运方法，其中，当该第一与第二输送带仓储装置分别取得该第一与第二虚拟缓冲仓储代码时，该第一与第二输送带仓储装置系分别做为一缓冲仓储来使用。如申请专利范围第9项所述的自动化物料搬运方法，其中，当该晶圆盒取得该虚拟搬运车代码时，该晶圆盒系做为一搬运车来使用。如申请专利范围第11所述的自动化物料搬运方法，其中，当将晶圆盒之该虚拟搬运车代码移除时，该晶圆盒不再做为该搬运车来使用。如申请专利范围第9所述的自动化物料搬运方法，其更包括该传输系统控制器将该晶圆盒搬运并载入至该第一或第二输送带仓储装置，接着直接自该第一或第二输送带仓储装置取走该晶圆盒。一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：分别将一第一虚拟缓冲仓储代码与一第二虚拟缓冲仓储代码赋予一第一输送带仓储装置与一第二输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括一输出/入埠与一第一轨道，且该第一轨道提供复数个储位；利用一传输系统控制器将一晶圆盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置；利用一物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶圆盒自该第一输送带仓储装置之一输入埠传送到该第一输送带仓储装置之一输出埠；将该晶圆盒自该第一输送带仓储装置之该输出埠载入至自动化输送带搬运装置之一第二轨道上；当将该晶圆盒载入至该第二轨道上时，给予该晶圆盒一虚拟搬运车号码；经由该自动化输送带搬运装置之该第二轨道，将该晶圆盒搬运并载入至该第二送输送带仓储装置；将该晶圆盒之该虚拟搬运车号码移除；以及利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶圆盒。如申请专利范围第14所述的自动化物料搬运方法，其中，利用该物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶圆盒自该第一输送带仓储装置之该输入埠传送到该第一轨道之其中一储位。如申请专利范围第15所述的自动化物料搬运方法，其中，将该晶圆盒自该第一轨道上之该储位移动至该输出埠，并且载入至该自动化输送带搬运装置之该第二轨道上。如申请专利范围第14所述的自动化物料搬运方法，其中，利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置之该输出埠取走该晶圆盒，并且将该晶圆盒搬运并载入至一第三输送带仓储装置，其中该第三输送带仓储装置具有一第三虚拟缓冲仓储代码，且包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠之一第三轨道，且该第三轨道提供复数个储位。一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：将一第一虚拟缓冲仓储代码赋予一第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠之一第一轨道，且该第一轨道提供复数个储位；利用一传输系统控制器将一晶圆盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置之该第一输出/入埠，其中该第一输出/入埠系表示为该第一输送带仓储装置之一输入埠；利用一物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶圆盒自该第一输出/入埠传送到该第二输出/入埠，其中该第二输出/入埠系表示为该第一输送带仓储装置之一输出埠；以及利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置之该第二输出/入埠取走该晶圆盒。如申请专利范围第18项所述的自动化物料搬运方法，其中，利用该物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶圆盒自该第一输入埠传送到该第一轨道上之其中一储位。如申请专利范围第19项所述的自动化物料搬运方法，其中，将该晶圆盒自第一轨道上之该储位传送至第二输出/入埠，并且利用该传送系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶圆盒。一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：将一第一虚拟缓冲仓储代码赋予一第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠之一第一轨道，且该第一轨道提供复数个储位；利用一传输系统控制器将一晶圆盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置之该第一或第二输出/入埠；利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置之该第一或第二输出/入埠取走该晶圆盒，并且将该晶圆盒搬运并载入至一第二输送带仓储装置，其中该第二输送带仓储装置具有一第二虚拟缓冲仓储代码，且包括至少一第三输出/入埠以及连接该第三输出/入埠之一第二轨道，且该第二轨道提供复数个储位。