发明名称 基板之制造方法
摘要 一种基板之制造方法包括下列步骤:首先,提供一第一母基板,其至少具有两个第一对位标志。接着,测量这些第一对位标志之间的距离,以得出一第一距离。之后,于第一母基板上形成多个阵列单元。然后,分割第一母基板。此外,测量第一对位标志之间的距离,以得出一第二距离。接着,计算第一距离与第二距离之差值,以得出一补偿值。之后,藉由补偿值调整第一对位标志之间的距离,以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。然后,于第二母基板上形成阵列单元。
申请公布号 TWI373091 申请公布日期 2012.09.21
申请号 TW097105183 申请日期 2008.02.14
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 李仲明;吴恒忠;陈俊仁;洪建兴;黄坤源;陈晋昇
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种基板之制造方法,包括:提供一第一母基板,具有多个阵列单元预定区,且该第一母基板至少具有两个第一对位标志;测量该些第一对位标志之间的距离,得出一第一距离;沿该些阵列单元预定区,分割该第一母基板;测量该些第一对位标志之间的距离,得出一第二距离;计算该第一距离与该第二距离之差值,得出一补偿值;以及藉由该补偿值调整该些第一对位标志之间的距离,以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志,其中当该第二距离小于该第一距离时,以该补偿值加长该些第一对位标志之间的距离,而形成该些第二对位标志。如申请专利范围第1项所述之基板之制造方法,其中该些第一对位标志配置于各该阵列单元预定区之角落,且位于一对角线上。如申请专利范围第1项所述之基板之制造方法,其中该第二母基板具有多个阵列单元预定区,且该些第二对位标志配置于各该阵列单元预定区之角落,且位于一对角线上。如申请专利范围第1项所述之基板之制造方法,其中该第一母基板具有八个第一对位标志,该些第一对位标志分别位于各该阵列单元预定区之各角落。如申请专利范围第4项所述之基板之制造方法,其中该第二母基板具有八个第二对位标志,该些第二对位标志分别位于各该阵列单元预定区之各角落。如申请专利范围第1项所述之基板之制造方法,其中分割该第一母基板之前,更包括于该第一母基板上形成多个阵列单元。如申请专利范围第1项所述之基板之制造方法,其中于该第二母基板上形成至少两个第二对位标志后,更包括于该第二母基板上形成多个阵列单元。如申请专利范围第6或7项所述之基板之制造方法,其中该些阵列单元包括画素单元。如申请专利范围第8项所述之基板之制造方法,其中各该画素单元包括主动元件与画素电极。如申请专利范围第6或7项所述之基板之制造方法,其中该些阵列单元包括彩色滤光单元。如申请专利范围第10项所述之基板之制造方法,其中该些彩色滤光单元包括红色滤光单元、绿色滤光单元或蓝色滤光单元。如申请专利范围第10项所述之基板之制造方法,其中该些彩色滤光单元包括黑矩阵。
地址 桃园县八德市和平路1127号
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