测试装置以及接脚电子卡

摘要

本发明提供一种测试装置，包括：驱动器，其对被测试元件输出测试信号；第1传送路径，其将驱动器和被测试元件进行电气连接；第1FET开关，其设置在第1传送路径上，对是否将驱动器和被测试元件相连接进行切换；比较器，其对被测试元件的输出信号的电压，和预先所确定的参照电压进行比较；第2传送路径，其在第1传送路径中从第1FET开关和被测试元件之间分支出来，将第1传送路径和比较器进行连接；第2FET开关，其设置在第2传送路径上，对是否将比较器和被测试元件相连接进行切换；以及容量补充部，其检测该输出信号，并根据所检测的输出信号，对第1FET开关的电容成分进行充放电。

主权项

一种测试装置，为一种对被测试元件进行测试的测试装置，包括：驱动器，其对前述被测试元件输出测试信号；第1传送路径，其将前述驱动器和前述被测试元件进行电气连接；第1FET开关，其设置在前述第1传送路径上，对是否将前述驱动器和前述被测试元件相连接进行切换；以及容量补充部，其检测前述被测试元件之输出信号，并根据所检测的前述输出信号，对前述第1FET开关的电容成分进行充放电；以及第2传送路径，在前述第1传送路径中由前述第1FET开关和前述被测试元件之间分支出来，前述第2传送路径连接前述第1传送路径和前述容量补充部。如申请专利范围第1项所述的测试装置，其更包括：比较器，其对前述输出信号的电压，和预先所确定的参照电压进行比较；以及第2FET开关，其设置在前述第2传送路径上，对是否将前述比较器和前述被测试元件相连接进行切换，其中前述第2传送路径连接前述第1传送路径和前述比较器。如申请专利范围第1项所述的测试装置，其中，前述容量补充部包括：检测部，其在前述第2FET开关和前述比较器之间的前述第2传送路径中，对前述输出信号进行检测；以及电流施加部，其将前述检测部所检测的前述输出信号为基础的电流，施加至前述驱动器和前述第1FET开关之间的前述第1传送路径上。如申请专利范围第3项所述的测试装置，其中，前述驱动器、前述比较器、前述第1FET开关及前述第2FET开关被设置在相同的基板上。如申请专利范围第3项所述的测试装置，其中，前述电流施加部对应于前述输出信号的上升边缘，生成对前述第1FET开关的电容成分进行充电的电流，并对应前述输出信号的下降边缘，生成对前述第1FET开关的电容成分进行放电的电流。如申请专利范围第5项所述的测试装置，其中，前述检测部包括微分电路，其用于生成前述输出信号的微分波形；前述电流施加部包括电压电流转换电路，其用于生成与前述微分波形相对应的电流。如申请专利范围第3项所述的测试装置，其中，还包括缓冲放大器，其被设置在前述第2FET开关和前述比较器之间的前述第2传送路径上；前述检测部在前述缓冲放大器和前述比较器之间的前述第2传送路径中，对前述输出信号进行检测。如申请专利范围第4项所述的测试装置，其中，前述第2FET开关的导通电阻较前述第1FET开关的导通电阻大。一种测试装置，为一种对被测试元件进行测试的测试装置，包括：比较器，其对前述被测试元件的输出信号的电压，和预先所确定的参照电压进行比较；第1传送路径；第2传送路径，其将前述被测试元件和前述比较器进行电气连接；第2FET开关，其设置在前述第2传送路径上，对是否将前述比较器和前述被测试元件相连接进行切换；以及容量补充部，其检测供给至前述被测试元件的测试信号，并根据所检测的前述测试信号，对前述第2FET开关的电容成分进行充放电，其中第1传送路径，在前述第2传送路径中由前述第2FET开关和前述被测试元件之间分支出来，前述第1传送路径连接前述第2传送路径和前述容量补充部。如申请专利范围第9项所述的测试装置，其更包括：驱动器，其对前述被测试元件输出测试信号；以及第1FET开关，其设置在前述第1传送路径上，对是否将前述驱动器和前述被测试元件相连接进行切换，且其中前述第1传送路径电气连接前述驱动器和前述被测试元件。一种接脚电子卡，为一种在对被测试元件进行测试的测试装置中，与前述被测试元件进行信号的收发之接脚电子卡，包括：驱动器，其对前述被测试元件输出测试信号；第1传送路径，其将前述驱动器和前述被测试元件进行电气连接；第1FET开关，其设置在前述第1传送路径上，对是否将前述驱动器和前述被测试元件相连接进行切换；容量补充部，其检测前述被测试元件之输出信号，并根据所检测的前述输出信号，对前述第1FET开关的电容成分进行充放电；以及第2传送路径，在前述第1传送路径中由前述第1FET开关和前述被测试元件之间分支出来，前述第2传送路径连接前述第1传送路径和前述容量补充部。如申请专利范围第11项所述的接脚电子卡，其更包括：比较器，其对前述输出信号的电压，和预先所确定的参照电压进行比较；以及第2FET开关，其设置在前述第2传送路径上，对是否将前述比较器和前述被测试元件相连接进行切换，其中前述第2传送路径连接前述第1传送路径和前述比较器。一种接脚电子卡，为一种在对被测试元件进行测试的测试装置中，与前述被测试元件进行信号的收发之接脚电子卡，包括：比较器，其对前述被测试元件的输出信号的电压，和预先所确定的参照电压进行比较；第1传送路径；第2传送路径，其将前述被测试元件和前述比较器进行电气连接；第2FET开关，其设置在前述第2传送路径上，对是否将前述比较器和前述被测试元件相连接进行切换；以及容量补充部，其检测供给至前述被测试元件的测试信号，并根据所检测的前述测试信号，对前述第2FET开关的电容成分进行充放电，其中第1传送路径，在前述第2传送路径中由前述第2FET开关和前述被测试元件之间分支出来，前述第1传送路径连接前述第2传送路径和前述容量补充部。如申请专利范围第13项所述的接脚电子卡，其更包括：驱动器，其对前述被测试元件输出测试信号；以及第1FET开关，其设置在前述第1传送路径上，对是否将前述驱动器和前述被测试元件相连接进行切换，且其中前述第1传送路径电气连接前述驱动器和前述被测试元件。