化学气相沉积机台

摘要

本发明系一种化学气相沉积机台，包括腔室、喷头、加热器以及高度检测计，腔室包括底面，底面包括孔洞，喷头设于腔室中且包括喷孔，加热器相对于喷孔方向设置且包括加热平台、高度调整件、底座以及支撑件，支撑件分别连接加热平台以及底座，并且加热平台位于腔室内，而底座透过支撑件穿出孔洞外露于腔室，高度检测计连接于底座上，高度检测计包括顶针，顶针顶住底面。

主权项

一种化学气相沉积机台，包括：一腔室，包括一底面，该底面包括一孔洞；一喷头，设于该腔室中，包括一喷孔；一加热器，相对于该喷孔方向设置，该加热器包括一加热平台、二高度调整件、一底座以及一支撑件，该支撑件分别连接该加热平台以及该底座，并且该加热平台位于该腔室内，而该底座透过该支撑件穿出该孔洞外露于该腔室；以及二高度检测计，该等高度检测计连接于该底座上，每一高度检测计包括一顶针，该顶针顶住该底面。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其更包括一气体导管，该气体导管与该腔室连接。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其更包括一高度固定件，该高度固定件固定于该加热器之该底座与该腔体之该底面之间。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其中该加热器之该底座包括至少二相对侧边，而该等高度调整件分别设于邻近该等相对侧边上。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其中该加热器之该底座包括至少二相对侧边，而该等高度检测计分别设于该等相对侧边上。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其中该加热器之该底座包括一侧边，该侧编剧有二端部，而该等高度检测计分别设于该等端部上。如申请专利范围第1项所述之化学气相沉积机台，其中该高度检测计更包括一显示表，以提供高度数据。