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发明名称 CLAMPED MONOLITHIC SHOWERHEAD ELECTRODE
摘要
申请公布号 KR200462655(Y1) 申请公布日期 2012.09.21
申请号 KR20100009838U 申请日期 2010.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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