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发明名称 CATALYST BODY CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101183500(B1) 申请公布日期 2012.09.20
申请号 KR20087024935 申请日期 2007.04.09
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/54;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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