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发明名称 Roller group for transporting thin substrate and method for performing chemical treatment by using the same
摘要
申请公布号 AU2008331358(B2) 申请公布日期 2012.09.20
申请号 AU20080331358 申请日期 2008.01.30
申请人 WUXI SUNTECH POWER CO., LTD. 发明人 ARTES, GRAHAM;SHI, ZHENGRONG;JI, JINGJIA
分类号 H05K3/00;C23F1/08 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
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