发明名称 Vakuumheizvorrichtung und Vakuumwärmebehandlungsverfahren
摘要 Eine einheitliche Spannung wird an Lasten angelegt, sogar an andere als ein Vielfaches von drei Lasten, welche aus Heizlampen, welche parallel miteinander verbunden sind, aufgebaut sind, ohne eine Last auf einer primären Seite zu verursachen. Die Anzahl von Lasten wird in ein Vielfaches von drei und ein Vielfaches von zwei dividiert. Eine Dreiphasen-AC-Spannung wird an drei primäre Wicklungen angelegt, welche als eine y-Verbindung oder eine &Dgr;-Verbindung verbunden sind. Sekundäre Wicklungen, welche jeweils magnetisch mit einer primären Wicklung von einer Vielzahl von Dreiphasentransformatoren gekoppelt sind, und welche die gleiche Anzahl von Windungen aufweisen, sind mit dem Vielfachen von drei Lasten verbunden. Die Anzahl von Windungen der M-Sitz primären Wicklung eines Scott-Transformators wird in zwei an einem Mittelpunkt dividiert, an welchen ein Ende der T-Sitz primären Wicklung, welche eine Anzahl von Windungen gleich einem (√3)/2-fachen von demjenigen der M-Sitz primären Wicklung aufweist, verbunden ist, und an welchen die Dreiphasen-AC-Spannung angelegt wird. Die M-Sitz primäre Wicklung und die T-Sitz primäre Wicklung in zumindest einem Scott-Transformator werden jeweils magnetisch mit jeder der sekundären Wicklungen gekoppelt, welche die gleiche Anzahl von Windungen aufweist. Das Vielfache von zwei Lasten wird mit den sekundären Wicklungen verbunden, so dass keine sekundären Wicklungen auftreten, ohne dass eine Last damit verbunden ist. Somit kann eine AC-Spannung einheitlich an die Heizlampen angelegt werden, ohne irgendeine Last auf der primären Seite zu erhöhen.
申请公布号 DE112010000924(T5) 申请公布日期 2012.09.20
申请号 DE201011000924T 申请日期 2010.02.26
申请人 ULVAC, INC. 发明人 YAMANE, KATSUMI;YOSHIMOTO, TSUYOSHI;OHNO, TETSUHIRO;MIZOGUCHI, TAKAHIRO
分类号 H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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