X-RAY SPECTROSCOPY DEVICE

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur spektroskopischen Auswertung von Röntgenstrahlung (5) bei der Analyse einer Probe (1). Die Röntgenstrahlung (5) entsteht dabei aus der Wechselwirkung eines Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial. Die erfindungsgemäße Einrichtung ist insbesondere geeignet zur Elementanalyse und Elementqualifizierung bei der Materialmikroskopie, z.B. in der Metallurgie und bei der Partikel-Analyse. Erfindungsgemäß umfasst eine solche Einrichtung:- eine lichtmikroskopische Anordnung zur Beobachtung der Probe (1), eine Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der lichtmikroskopischen Anordnung ausgewählten Bereich der Probe (1) ausrichtbar ist, und einen Röntgenstrahlen-Detektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), wobei Mittel vorgesehen sind, durch die sich der zu analysierende Probenbereich während einer Beobachtungsphase in der Fokusebene eines Objektivs der lichtmikroskopischen Anordnung befindet, und während einer Messphase im Bereich des Elektronenstrahls (4) und im Empfangsbereich des Röntgenstrahlen-Detektors (6) befindet, und eine Abschirmung in Form eines U-förmigen Gehäuses (8) vorhanden ist.