DEVICE FOR ANALYSING SAMPLES BY MEANS OF X-RAY SPECTROSCOPY

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Analyse einer Probe (1) durch spektroskopische Auswertung von Röntgenstrahlung (5), die aufgrund der Wechselwirkung eines Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entsteht. Sie ist insbesondere geeignet zur Elementanalyse und Elementqualifizierung bei der Materialmikroskopie. Erfindungsgemäß umfasst eine solche Einrichtung eine mikroskopische Anordnung zur Beobachtung der Probe (1) mit einem Mikroskopobjektiv (2), eine Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der mikroskopischen Anordnung ausgewählten Bereich der Probe (1) ausrichtbar ist, und einen Röntgenstrahlen-Detektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), wobei die Elektronenquelle (3) und der Röntgenstrahlen-Detektor (6) als Baueinheit in Form eines Analysemoduls (7) ausgebildet sind, und Mittel vorgesehen sind zum temporären Positionieren des Analysemoduls (7) in einer Arbeitsposition, in der sich der zu analysierende Probenbereich im Elektronenstrahl (4) und zugleich im Empfangsbereich des Röntgenstrahlen-Detektors (6) befindet.