Verfahren zum Herstellen eines reflektiven optischen Bauelements für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage und derartiges Bauelement

摘要

Ein Verfahren zum Herstellen eines reflektiven optischen Bauelements (10) für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage, das ein Substrat (12), das einen Basiskörper (14) aufweist, und eine auf dem Substrat (12) angeordnete reflektierende Schicht (20) aufweist, wobei das Substrat (12) eine optisch wirksame Mikrostrukturierung (16) aufweist, weist die Schritte auf: Einbringen der Mikrostrukturierung (16) in das Substrat (12); Polieren des Substrats (12), nachdem die Mikrostrukturierung (16) in das Substrat (12) eingebracht wurde, Aufbringen der reflektierenden Schicht (20) auf das Substrat (12). Ein reflektives optisches Bauelement für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage weist entsprechend zwischen der Mikrostrukturierung und der reflektierenden Schicht eine polierte Fläche auf (1).