发明名称 Verfahren und Anordnung zur Herstellung von supraleitenden Schichten auf Substraten
摘要 <p>Verfahren zur Herstellung von supraleitenden Schichten auf Substraten (15), welches als kontinuierlicher Prozess durchgeführt wird, wobei durch Aerosol-Deposition auf dem Substrat (15) eine supraleitende Schicht hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die supraleitende Schicht aus MgB2 besteht, welche aus MgB2 Pulver (4) oder aus einem Pulvergemisch (4) von Mg und B hergestellt wird.</p>
申请公布号 DE102010031741(B4) 申请公布日期 2012.09.20
申请号 DE20101031741 申请日期 2010.07.21
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ARNDT, TABEA, DR.
分类号 H01L39/24;C23C24/04 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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